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OCT 膜層檢測(cè)儀是一種基于光學(xué)干涉與斷層掃描原理的高精度檢測(cè)設(shè)備，技術(shù)優(yōu)勢(shì)在多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。其核心原理是利用低相干光源，通過邁克爾遜干涉儀使樣品反射光與參考光產(chǎn)生干涉，僅捕獲光程匹配的信號(hào)，結(jié)合逐層掃描實(shí)現(xiàn)微米級(jí)層析成像，分辨率可達(dá) 1-15μm，能清晰呈現(xiàn)膜層結(jié)構(gòu)與缺陷。

設(shè)備由光源系統(tǒng)、干涉儀、掃描系統(tǒng)、探測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。寬帶近紅外光源提供檢測(cè)基礎(chǔ)，干涉儀負(fù)責(zé)光的分離與干涉，掃描系統(tǒng)控制光束橫向移動(dòng)，探測(cè)器采集信號(hào)，數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)則完成圖像重建與信息分析。

該檢測(cè)儀具備非接觸、高分辨率、實(shí)時(shí)、無(wú)損及自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。無(wú)需接觸樣品即可檢測(cè)，避免損傷脆弱膜層；能精準(zhǔn)識(shí)別微小缺陷，實(shí)時(shí)反饋結(jié)果便于及時(shí)調(diào)整；可多次檢測(cè)同一膜層，且能與生產(chǎn)線集成實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化檢測(cè)，大幅提升效率與準(zhǔn)確性。

在電子電氣、顯示、光學(xué)、半導(dǎo)體和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，可檢測(cè)電路板三防漆、手機(jī)屏幕薄膜、光學(xué)元件涂層、半導(dǎo)體晶圓缺陷及生物組織等，為產(chǎn)品質(zhì)量把控提供有力支持。